1、整孔

2、除胶渣

3、重铬酸盐

4、回蚀

5、自由基

6、Negativeetch-back反回蚀

7、电浆

8、Reverse Etchback反回蚀

9、阴影，回蚀死角

10、Plasma电浆

11、膨松剂

12、良品率，良率，产率